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　　　△ASML与德国光学公司蔡司（Zeiss）合作，由该蔡司来生产反射镜，以使得EUV光线经过多次反射后能够精准的投射到晶圆上。

　　　TsumoruShintake教授在论文摘要中介绍称，如果以每小时100片晶圆的处理速度计算，如果采用全新的双反射镜系统，将可使得所需的EUV光源功率降低至20瓦。全新设计的投影物镜可实现0.2NA（20毫米领域）和0.3NA（10毫米领域），可组装成类似于DUV投影物镜系统的圆柱型装置，具有出色的机械稳定性，且更易于组装/维护。EUV通过位于衍射锥两侧的两个窄圆柱形反射镜引入掩膜版前方，提供平均法向照明，减少光刻掩膜三维效应。简化的照明系统提供对称的四极离轴照明，绕过了中心遮蔽，提高了空间分辨率，还实现了柯勒照明。理论分辨率极限为24nm（20mm视场），图像缩小系数×5，物像距离(OID)2000毫米。使用曲面掩模后，物像距离高度可降低到（OID）1500mm，分辨率为16nm（10mm视场）。它将适用于移动终端应用的小尺寸芯片生产以及最新的chiplet芯片技术。

　　　第二部分则是Cymer的工作，其主要承担提供并控制锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出，并利用通快集团的30KW二氧化碳激光器对每滴锡金属液滴每秒进行两次轰击（即每秒需要10万个激光脉冲），从而产生稳定的13.5nm波长的EUV，然后对光线进行收集，并通过反射镜修正光的前进方向。

　　　据芯智讯向ASML内部人士了解到，目前ASMLEUV光刻机的EUV光源功率已经提高到了500W（主要依赖于光源优化，drivelaser依然是30kW），也就是说其最终作用到晶圆的功率仅为5W，这相比多年前的250W光源功率所带来的最终工作功率提升了一倍，这也提升了其EUV光刻机的每小时处理晶圆数量的能力。

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【编辑:王海】