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　　　TsumoruShintake教授在论文摘要中介绍称，如果以每小时100片晶圆的处理速度计算，如果采用全新的双反射镜系统，将可使得所需的EUV光源功率降低至20瓦。全新设计的投影物镜可实现0.2NA（20毫米领域）和0.3NA（10毫米领域），可组装成类似于DUV投影物镜系统的圆柱型装置，具有出色的机械稳定性，且更易于组装/维护。EUV通过位于衍射锥两侧的两个窄圆柱形反射镜引入掩膜版前方，提供平均法向照明，减少光刻掩膜三维效应。简化的照明系统提供对称的四极离轴照明，绕过了中心遮蔽，提高了空间分辨率，还实现了柯勒照明。理论分辨率极限为24nm（20mm视场），图像缩小系数×5，物像距离(OID)2000毫米。使用曲面掩模后，物像距离高度可降低到（OID）1500mm，分辨率为16nm（10mm视场）。它将适用于移动终端应用的小尺寸芯片生产以及最新的chiplet芯片技术。

　　　EUV光刻技术的核心是将光掩模图像转移到硅晶圆上的投影仪，它仅由两个反射镜组成，就像天文望远镜一样。“考虑到传统EUV光刻至少需要六个反射镜，我们的双反射镜配置非常简单。这是通过仔细重新思考光学像差校正理论而实现的。这是经典物理学在量子物理学之前的胜利。”Shintake教授解释说：“该性能已使用光学模拟软件（OpTaliX）进行了验证，并保证足以用于生产先进半导体。”

　　　从EUV光刻机的结构来看，其内部主要由“照明光学模组”（Illuminator）、“投影光学模组”（Projectionoptics）、“光罩传输模组”(ReticleHandler)、“光罩平台模组”(ReticleStage)、“晶圆传送模组”（WaferHandler）、“晶圆平台模组”（WaferStage）及“光源模组”（Soure）这七大模组组成。

　　　日本冲绳科学技术大学执行副总裁兼OIST创新负责人GilGranot-Mayer表示：“OIST致力于创造能够影响人类的尖端科学。这项创新体现了OIST的精神，即探索不可能的事情并提供原创的解决方案。尽管我们在开发这项技术方面还有很长的路要走，但我们致力于这样做。我们希望这项来自冲绳的技术将对半导体行业产生变革性影响，并帮助解决能源消耗和脱碳等全球问题。

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【编辑:李宗仁】