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   从EUV光刻机的结构来看,其内部主要由“照明光学模组”(Illuminator)、“投影光学模组”(Projectionoptics)、“光罩传输模组”(ReticleHandler)、“光罩平台模组”(ReticleStage)、“晶圆传送模组”(WaferHandler)、“晶圆平台模组”(WaferStage)及“光源模组”(Soure)这七大模组组成。

   其中,“照明光学模组”是EUV最核心的作业模组。这里EUV光线由“光源模组”(Source)生成后,导入“照明光学模组”。过程还必须进行检测与控制光的能量、均匀度及形状。之后再将EUV光线通过“投影光学模组”传输穿过光罩(掩膜版),再由聚光镜(ProjectLens)将影像聚焦成像在晶圆表面的光阻层。

   EUV光刻技术的核心是将光掩模图像转移到硅晶圆上的投影仪,它仅由两个反射镜组成,就像天文望远镜一样。“考虑到传统EUV光刻至少需要六个反射镜,我们的双反射镜配置非常简单。这是通过仔细重新思考光学像差校正理论而实现的。这是经典物理学在量子物理学之前的胜利。”Shintake教授解释说:“该性能已使用光学模拟软件(OpTaliX)进行了验证,并保证足以用于生产先进半导体。”

   TsumoruShintake教授解释说:“如果你拿着两个手电筒,每只手拿着一个手电筒,并将它们以相同的角度对准你面前的镜子,那么一个手电筒的光线总是会照射到对面的手电筒上,这在光刻中是不可接受的。但是,如果你在不改变手电筒的角度的情况下向外移动手,直到中间从两侧完全照亮,光线就可以被反射而不会与对面手电筒的光线碰撞。由于两个光源对称放置并以相同角度照亮光罩,因此平均而言,光罩是从正面照亮的。这也最大限度地减少了掩膜三维效应。这就像哥伦布的蛋,”“因为乍一看似乎不可能,但一旦解决了,它就变得非常简单。”

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【编辑:马宏宇】

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