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近日，比利时微电子研究中心（imec）在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高人与动物XXX免费数值孔径极紫外光（High-NAEUV）光刻实验室中，利用径0.55NAEUV光刻机(TWINSCANEXE:5000)，发布了曝光后的图形化元件结构。

　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

　　　imec计算技术与系统/计算系统扩展高级副总裁StevenScheer表示：“我们很高兴在ASML-imec联合实验室中展示了世界上第一个支持HighNAEUV的逻辑和内存图案化，这是对行业应用的初步验证。结果展示了HighNAEUV的独特潜力，可以实现大规模2D特征的单次打印成像，提高设计灵活性并降低图案化成本和复杂性。展望未来，我们希望为我们的图案化生态系统合作伙伴提供宝贵的见解，支持他们进一步完善HighNAEUV特定材料和设备。”

　　　imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示：“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力，一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此，HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用，这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现，要归功于ASML-imec联合实验室的建立，这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

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【编辑:赵德荣】