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　　　根据TECHCET数据，受益于下游集成电路制造工厂产能扩张、集成电路制程技术节点微缩、3DNAND多层技术的发展，芯片的工艺尺寸越来越小，堆叠层数增加，集成电路制造中进行刻蚀、沉积和清洗的步骤增加，三氟化氮全球总需求预计将从2020年的3.11万吨左右增长至2025年的6.37万吨左右，2025年全球总供给预计约6.33万吨，存在供应缺口。

　　　近年来，随着半导体产业去库存的持续推进和下游需求的总体增长，特种气体市场规模持续增加。中国作为全球最大的半导体消费市场，对电子特种气体的需求日益增长，特别是在电子特气细分领域，中国市场需求的增长率明显高于全球平均水平，展现出巨大的发展潜力。

　　　据悉，三氟化氮作为大规模集成电路和显示面板等制造领域的关键清洗材料，因其优异的蚀刻速率和选择性特点，在化学气相沉积（CVD）腔体清洗工艺中占据重要地位。

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【编辑:张国柱】