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　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

　　　取得这些突破性成果后，imec携手ASML与其伙伴紧密合作，开始紧锣密鼓地进行准备工作，为第一代HighNAEUV微影技术来筹备图形化生态系统与量测技术。在进行多次曝光之前，imec准备了专用的晶圆堆叠（包含先进光阻、涂布底层及光罩），并把像是光学临近校正（OPC）、整合图形化及蚀刻技术等highNAEUV基线制程整合到0.55NAEUV光刻机台上。

近日，比利时微电子研究又白又嫩毛又多15P中心（imec）在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高数值孔径极紫外光（High-NAEUV）光刻实验室中，利用径0.55NAEUV光刻机(TWINSCANEXE:5000)，发布了曝光后的图形化元件结构。

　　　编辑：芯智讯-林子来源：imec

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【编辑:杨勇】