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　　　由ASML与imec共同成立于荷兰Eindhoven的HighNAEUV光刻实验室在近期启用后，客户现在可以使用HighNAEUV光刻机来开发非公开的HighNAEUV应用案例，这些案例也能运用客户各自的设计规则和布局。

　　　imec计算技术与系统/计算系统扩展高级副总裁StevenScheer表示：“我们很高兴在ASML-imec联合实验室中展示了世界上第一个支持HighNAEUV的逻辑和内存图案化，这是对行业应用的初步验证。结果展示了HighNAEUV的独特潜力，可以实现大规模2D特征的单次打印成像，提高设计灵活性并降低图案化成本和复杂性。展望未来，我们希望为我们的图案化生态系统合作伙伴提供宝贵的见解，支持他们进一步完善HighNAEUV特定材料和设备。”

　　　取得这些突破性成果后，imec携手ASML与其伙伴紧密合作，开始紧锣密鼓地进行准备工作，为第一代HighNAEUV微影技术来筹备图形化生态系统与量测技术。在进行多次曝光之前，imec准备了专用的晶圆堆叠（包含先进光阻、涂布底层及光罩），并把像是光学临近校正（OPC）、整合图形化及蚀刻技术等highNAEUV基线制程整合到0.55NAEUV光刻机台上。

　　　imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示：“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力，一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此，HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用，这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现，要归功于ASML-imec联合实验室的建立，这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

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【编辑:赵德荣】