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　　　第二部分则是Cymer的工作，其主要承担提供并控制锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出，并利用通快集团的30KW二氧化碳激光器对每滴锡金属液滴每秒进行两次轰击（即每秒需要10万个激光脉冲），从而产生稳定的13.5nm波长的EUV，然后对光线进行收集，并通过反射镜修正光的前进方向。

　　　据芯智讯向ASML内部人士了解到，目前ASMLEUV光刻机的EUV光源功率已经提高到了500W（主要依赖于光源优化，drivelaser依然是30kW），也就是说其最终作用到晶圆的功率仅为5W，这相比多年前的250W光源功率所带来的最终工作功率提升了一倍，这也提升了其EUV光刻机的每小时处理晶圆数量的能力。

　　　△通快激光放大器的核心组件——高功率种子模块(HPSM)。根据官网资料显示，通快集团向ASML供应的二氧化碳激光器拥有457,329个部件，系统内的线缆长度高达7,322米，重量更是达到了17,090千克。

　　　日本冲绳科学技术大学的TsumoruShintake教授在论文中也指出，在传统的光学系统中，如照相机、望远镜和传统的紫外光刻技术，孔径和透镜等光学元件轴对称（对称于中心轴）排列在一条直线上。这种配置确保了最高的光学性能，具有最小的光学像差，从而实现高质量的图像。然而，这不适用于EUV光线，因为它们的波长极短，会被大多数材料吸收，这意味着它们不能穿过透明镜片。出于这个原因，EUV光使用新月形镜子进行定向，这些镜子以锯齿形图案在开放空间中沿光路反射光线（见下图）。然而，由于这种方法会导致光线偏离中心轴，因此它牺牲了重要的光学特性并降低了系统的整体性能。

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