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近日，比利时微电子研究中心（imec）在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高数值孔径极紫外光（High-NAEUV）光刻实验室中，利用径0.55NAEUV光刻机(超级可爱泰美女插出白浆TWINSCANEXE:5000)，发布了曝光后的图形化元件结构。

　　　由ASML与imec共同成立于荷兰Eindhoven的HighNAEUV光刻实验室在近期启用后，客户现在可以使用HighNAEUV光刻机来开发非公开的HighNAEUV应用案例，这些案例也能运用客户各自的设计规则和布局。

　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

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【编辑:胡宝善】