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　　　取得这些突破性成果后，imec携手ASML与其伙伴紧密合作，开始紧锣密鼓地进行准备工作，为第一代HighNAEUV微影技术来筹备图形化生态系统与量测技术。在进行多次曝光之前，imec准备了专用的晶圆堆叠（包含先进光阻、涂布底层及光罩），并把像是光学临近校正（OPC）、整合图形化及蚀刻技术等highNAEUV基线制程整合到0.55NAEUV光刻机台上。

　　　编辑：芯智讯-林子来源：imec

　　　imec成功利用单次曝光，形成间隔为9nm与半线宽为5nm的随机逻辑结构，相当于间距为19nm，图形顶端（tip-to-tip）的间距达到20纳米以下。中心间距为30nm的随机通孔充分展示了绝佳的图形保真度与关键尺寸均匀度。此外，间距为22nm的2D特征也展现了杰出的性能，突显了利用HighNAEUV技术来实现2D布线的发展潜力。

　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

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【编辑:宗敬先】