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　　　由ASML与imec共同成立于荷兰Eindhoven的HighNAEUV光刻实验室在近期启用后，客户现在可以使用HighNAEUV光刻机来开发非公开的HighNAEUV应用案例，这些案例也能运用客户各自的设计规则和布局。

　　　imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示：“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力，一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此，HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用，这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现，要归功于ASML-imec联合实验室的建立，这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

近日，男生插入女生屁股小说比利时微电子研究中心（imec）在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高数值孔径极紫外光（High-NAEUV）光刻实验室中，利用径0.55NAEUV光刻机(TWINSCANEXE:5000)，发布了曝光后的图形化元件结构。

　　　imec成功利用单次曝光，形成间隔为9nm与半线宽为5nm的随机逻辑结构，相当于间距为19nm，图形顶端（tip-to-tip）的间距达到20纳米以下。中心间距为30nm的随机通孔充分展示了绝佳的图形保真度与关键尺寸均匀度。此外，间距为22nm的2D特征也展现了杰出的性能，突显了利用HighNAEUV技术来实现2D布线的发展潜力。

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【编辑:余克勤】