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　　　而TsumoruShintake教授提出的面向EUV光学系统的双反射镜解决方案，相比原本的六个反射镜的方案，能让光源效率提升到原来（标准值为1%）的10倍，即EUV光线能够以超过初始值10%的功率到达晶圆。如果维持原有的作用到晶圆的EUV光线功率不变，那么采用新方案后，EUV光源的初始功率则可以降低到原来的1/10，这也将使得整个EUV光刻机的光学系统更简化、更高效、可靠性更高、更低成本。

　　　TsumoruShintake教授在论文摘要中介绍称，如果以每小时100片晶圆的处理速度计算，如果采用全新的双反射镜系统，将可使得所需的EUV光源功率降低至20瓦。全新设计的投影物镜可实现0.2NA（20毫米领域）和0.3NA（10毫米领域），可组装成类似于DUV投影物镜系统的圆柱型装置，具有出色的机械稳定性，且更易于组装/维护。EUV通过位于衍射锥两侧的两个窄圆柱形反射镜引入掩膜版前方，提供平均法向照明，减少光刻掩膜三维效应。简化的照明系统提供对称的四极离轴照明，绕过了中心遮蔽，提高了空间分辨率，还实现了柯勒照明。理论分辨率极限为24nm（20mm视场），图像缩小系数×5，物像距离(OID)2000毫米。使用曲面掩模后，物像距离高度可降低到（OID）1500mm，分辨率为16nm（10mm视场）。它将适用于移动终端应用的小尺寸芯片生产以及最新的chiplet芯片技术。

　　　从EUV光刻机的结构来看，其内部主要由“照明光学模组”（Illuminator）、“投影光学模组”（Projectionoptics）、“光罩传输模组”(ReticleHandler)、“光罩平台模组”(ReticleStage)、“晶圆传送模组”（WaferHandler）、“晶圆平台模组”（WaferStage）及“光源模组”（Soure）这七大模组组成。

　　　编辑：芯智讯-浪客剑

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【编辑:赵进喜】