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　　　第二部分则是Cymer的工作，其主要承担提供并控制锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出，并利用通快集团的30KW二氧化碳激光器对每滴锡金属液滴每秒进行两次轰击（即每秒需要10万个激光脉冲），从而产生稳定的13.5nm波长的EUV，然后对光线进行收集，并通过反射镜修正光的前进方向。

　　　编辑：芯智讯-浪客剑

　　　日本冲绳科学技术大学的TsumoruShintake教授在论文中也指出，在传统的光学系统中，如照相机、望远镜和传统的紫外光刻技术，孔径和透镜等光学元件轴对称（对称于中心轴）排列在一条直线上。这种配置确保了最高的光学性能，具有最小的光学像差，从而实现高质量的图像。然而，这不适用于EUV光线，因为它们的波长极短，会被大多数材料吸收，这意味着它们不能穿过透明镜片。出于这个原因，EUV光使用新月形镜子进行定向，这些镜子以锯齿形图案在开放空间中沿光路反射光线（见下图）。然而，由于这种方法会导致光线偏离中心轴，因此它牺牲了重要的光学特性并降低了系统的整体性能。

　　　EUV光刻技术的核心是将光掩模图像转移到硅晶圆上的投影仪，它仅由两个反射镜组成，就像天文望远镜一样。“考虑到传统EUV光刻至少需要六个反射镜，我们的双反射镜配置非常简单。这是通过仔细重新思考光学像差校正理论而实现的。这是经典物理学在量子物理学之前的胜利。”Shintake教授解释说：“该性能已使用光学模拟软件（OpTaliX）进行了验证，并保证足以用于生产先进半导体。”

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【编辑:黄强辉】