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   imec表示,在单次曝光后,9nm和5nm(间距19nm)的随机逻辑结构、中心间距为30nm的随机通孔、间距为22nm的二维特征,以及间距为32nm的动态随机存取记忆体(DRAM)专用布局全部成功成形,采用的是由imec与其先进图形化研究计划伙伴所优化的材料和基线制程。通过这些研究成果,imec证实该光刻技术的生态系统已经准备就绪,能够实现高分辨率的HighNAEUV单次曝光。

   除了逻辑结构,imec也成功利用单次曝光,为动态随机存取内存(DRAM)制出把电荷储存节点连接垫(storagenodelandingpad)与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能,有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

   imec计算技术与系统/计算系统扩展高级副总裁StevenScheer表示:“我们很高兴在ASML-imec联合实验室中展示了世界上第一个支持HighNAEUV的逻辑和内存图案化,这是对行业应用的初步验证。结果展示了HighNAEUV的独特潜力,可以实现大规模2D特征的单次打印成像,提高设计灵活性并降低图案化成本和复杂性。展望未来,我们希望为我们的图案化生态系统合作伙伴提供宝贵的见解,支持他们进一步完善HighNAEUV特定材料和设备。”

   imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示:“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力,一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此,HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用,这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现,要归功于ASML-imec联合实验室的建立,这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

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【编辑:胡宝善】

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