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　　　7月17日晚间，

　　　在此背景下，中船特气紧抓市场机遇，积极布局电子特种气体产业。根据公告，中船特气目前拥有三氟化氮产能12500吨/年，产能规模位居国内第一、世界前列。

　　　本报记者张晓玉

　　　据悉，三氟化氮作为大规模集成电路和显示面板等制造领域的关键清洗材料，因其优异的蚀刻速率和选择性特点，在化学气相沉积（CVD）腔体清洗工艺中占据重要地位。

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【编辑:刘造时】