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　　　根据TECHCET数据，受益于下游集成电路制造工厂产能扩张、集成电路制程技术节点微缩、3DNAND多层技术的发展，芯片的工艺尺寸越来越小，堆叠层数增加，集成电路制造中进行刻蚀、沉积和清洗的步骤增加，三氟化氮全球总需求预计将从2020年的3.11万吨左右增长至2025年的6.37万吨左右，2025年全球总供给预计约6.33万吨，存在供应缺口。

　　　电子特种气体作为关键性电子材料，近年来得到国家产业政策的大力支持。国家发改委、科技部、工信部、财政部、国家税务总局等部门相继出台一系列产业支持政策，有力推动了该产业发展。

　　　本报记者张晓玉

　　　据了解，在半导体材料领域，电子特种气体作为集成电路制造的“血液”，是国产替代的重要环节，其作为集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业不可或缺的原材料，重要性仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。

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【编辑:张志远】