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　　　△为了避开中心遮挡并提高空间分辨率，EUV光通过位于衍射光锥两侧的两个窄圆柱形反射镜引入掩膜前方。这提供了均匀化照明光场，减少了掩膜三维效应。简化的照明系统提供了对称的四极离轴照明，绕过了中心遮挡，提高了空间分辨率，还实现了柯勒照明。为避免圆柱镜的阻挡衍射，TsumoruShintake教授引入了通过设计一种新的照明光学方法解决了这个问题，该方法被称为“双线场”。该方法在不干扰光路的情况下，用EUV光从正面照射平面镜面的光罩。

　　　日本冲绳科学技术大学执行副总裁兼OIST创新负责人GilGranot-Mayer表示：“OIST致力于创造能够影响人类的尖端科学。这项创新体现了OIST的精神，即探索不可能的事情并提供原创的解决方案。尽管我们在开发这项技术方面还有很长的路要走，但我们致力于这样做。我们希望这项来自冲绳的技术将对半导体行业产生变革性影响，并帮助解决能源消耗和脱碳等全球问题。

　　　△ASML与德国光学公司蔡司（Zeiss）合作，由该蔡司来生产反射镜，以使得EUV光线经过多次反射后能够精准的投射到晶圆上。

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【编辑:黄强辉】