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　　　从EUV光刻机的结构来看，其内部主要由“照明光学模组”（Illuminator）、“投影光学模组”（Projectionoptics）、“光罩传输模组”(ReticleHandler)、“光罩平台模组”(ReticleStage)、“晶圆传送模组”（WaferHandler）、“晶圆平台模组”（WaferStage）及“光源模组”（Soure）这七大模组组成。

　　　△通快激光放大器的核心组件——高功率种子模块(HPSM)。根据官网资料显示，通快集团向ASML供应的二氧化碳激光器拥有457,329个部件，系统内的线缆长度高达7,322米，重量更是达到了17,090千克。

　　　TsumoruShintake教授解释说：“如果你拿着两个手电筒，每只手拿着一个手电筒，并将它们以相同的角度对准你面前的镜子，那么一个手电筒的光线总是会照射到对面的手电筒上，这在光刻中是不可接受的。但是，如果你在不改变手电筒的角度的情况下向外移动手，直到中间从两侧完全照亮，光线就可以被反射而不会与对面手电筒的光线碰撞。由于两个光源对称放置并以相同角度照亮光罩，因此平均而言，光罩是从正面照亮的。这也最大限度地减少了掩膜三维效应。这就像哥伦布的蛋，”“因为乍一看似乎不可能，但一旦解决了，它就变得非常简单。”

　　　而且，该解决方案还能够使得目前EUV光刻机的“照明光学模组”和“投影光学模组”更为简化，不仅所需的零部件数量更少（反射镜减少、二氧化碳激光器要求降低、配套散热系统要求降低），体积和重量也将会更小。比如前面提到的，通快集团向ASMLEUV光刻机供应的30KW二氧化碳激光器，光零部件就有457,329个，重量更是达到了17,090千克，如果采用功率更低的二氧化碳激光器，无疑将会大幅降低零部件的数量、体积与重量。

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