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   由于EUV光线波长非常短,所以它们会很容易被空气吸收,所以整个EUV光源的工作环境需要被抽成真空。同时,EUV光线也无法被玻璃透镜折射,必须以硅与钼制成的特殊镀膜反射镜,来修正光的前进方向,而且每一次反射可能将会损失约30%能量,而EUV光学照明系统当中有6组反射镜,导致最终到达晶圆的EUV光子理论上只有原来的约1%左右。

   编辑:芯智讯-浪客剑

   △为了避开中心遮挡并提高空间分辨率,EUV光通过位于衍射光锥两侧的两个窄圆柱形反射镜引入掩膜前方。这提供了均匀化照明光场,减少了掩膜三维效应。简化的照明系统提供了对称的四极离轴照明,绕过了中心遮挡,提高了空间分辨率,还实现了柯勒照明。为避免圆柱镜的阻挡衍射,TsumoruShintake教授引入了通过设计一种新的照明光学方法解决了这个问题,该方法被称为“双线场”。该方法在不干扰光路的情况下,用EUV光从正面照射平面镜面的光罩。

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