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　　　其中，“照明光学模组”是EUV最核心的作业模组。这里EUV光线由“光源模组”（Source）生成后，导入“照明光学模组”。过程还必须进行检测与控制光的能量、均匀度及形状。之后再将EUV光线通过“投影光学模组”传输穿过光罩（掩膜版），再由聚光镜（ProjectLens）将影像聚焦成像在晶圆表面的光阻层。

　　　据芯智讯向ASML内部人士了解到，目前ASMLEUV光刻机的EUV光源功率已经提高到了500W（主要依赖于光源优化，drivelaser依然是30kW），也就是说其最终作用到晶圆的功率仅为5W，这相比多年前的250W光源功率所带来的最终工作功率提升了一倍，这也提升了其EUV光刻机的每小时处理晶圆数量的能力。

8月7日消息，近日日本冲绳科学技术大学（OIST）的TsumoruShintake教授带领的研究团队提出了一项全新、大幅简化的面向极紫外（EUV）光刻机的双反射镜系统。相比传统的至少需要六面反射镜的配置，新的光学投影系统仅使用了美国成人xxxbb 免费两面反射镜，在确保系统维持较高的光学性能的同时，能让EUV光线以超过初始值10%的功率到达晶圆，相比传统系统中仅1%的功率来说，提了高到了原来的10倍，可说是一大突破。

　　　EUV光刻技术的核心是将光掩模图像转移到硅晶圆上的投影仪，它仅由两个反射镜组成，就像天文望远镜一样。“考虑到传统EUV光刻至少需要六个反射镜，我们的双反射镜配置非常简单。这是通过仔细重新思考光学像差校正理论而实现的。这是经典物理学在量子物理学之前的胜利。”Shintake教授解释说：“该性能已使用光学模拟软件（OpTaliX）进行了验证，并保证足以用于生产先进半导体。”

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【编辑:林莽】