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   imec表示,在单次曝光后,9nm和5nm(间距19nm)的随机逻辑结构、中心间距为30nm的随机通孔、间距为22nm的二维特征,以及间距为32nm的动态随机存取记忆体(DRAM)专用布局全部成功成形,采用的是由imec与其先进图形化研究计划伙伴所优化的材料和基线制程。通过这些研究成果,imec证实该光刻技术的生态系统已经准备就绪,能够实现高分辨率的HighNAEUV单次曝光。

   取得这些突破性成果后,imec携手ASML与其伙伴紧密合作,开始紧锣密鼓地进行准备工作,为第一代HighNAEUV微影技术来筹备图形化生态系统与量测技术。在进行多次曝光之前,imec准备了专用的晶圆堆叠(包含先进光阻、涂布底层及光罩),并把像是光学临近校正(OPC)、整合图形化及蚀刻技术等highNAEUV基线制程整合到0.55NAEUV光刻机台上。

近日,比利时微电子研究中心(i一级Av绯色毛片mec)在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高数值孔径极紫外光(High-NAEUV)光刻实验室中,利用径0.55NAEUV光刻机(TWINSCANEXE:5000),发布了曝光后的图形化元件结构。

   imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示:“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力,一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此,HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用,这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现,要归功于ASML-imec联合实验室的建立,这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

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【编辑:谭平山】

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