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　　　imec成功利用单次曝光，形成间隔为9nm与半线宽为5nm的随机逻辑结构，相当于间距为19nm，图形顶端（tip-to-tip）的间距达到20纳米以下。中心间距为30nm的随机通孔充分展示了绝佳的图形保真度与关键尺寸均匀度。此外，间距为22nm的2D特征也展现了杰出的性能，突显了利用HighNAEUV技术来实现2D布线的发展潜力。

　　　imec计算技术与系统/计算系统扩展高级副总裁StevenScheer表示：“我们很高兴在ASML-imec联合实验室中展示了世界上第一个支持HighNAEUV的逻辑和内存图案化，这是对行业应用的初步验证。结果展示了HighNAEUV的独特潜力，可以实现大规模2D特征的单次打印成像，提高设计灵活性并降低图案化成本和复杂性。展望未来，我们希望为我们的图案化生态系统合作伙伴提供宝贵的见解，支持他们进一步完善HighNAEUV特定材料和设备。”

　　　imec表示，在单次曝光后，9nm和5nm（间距19nm）的随机逻辑结构、中心间距为30nm的随机通孔、间距为22nm的二维特征，以及间距为32nm的动态随机存取记忆体（DRAM）专用布局全部成功成形，采用的是由imec与其先进图形化研究计划伙伴所优化的材料和基线制程。通过这些研究成果，imec证实该光刻技术的生态系统已经准备就绪，能够实现高分辨率的HighNAEUV单次曝光。

　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

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【编辑:洪学智】