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　　　X射线能更深入地穿透材料，利用X射线断层扫描技术可在不破坏芯片的情况下，生成三维图像。然而，现有的X射线技术难以对微芯片这类微型结构进行精确成像。

　　　为克服这一难题，研究团队使用叠层相干衍射成像技术作为解决方案。

　　　这项技术使X射线光束不是聚焦于样品的某个纳米点，而是让样品在纳米尺度移动，使照射在其上的X射线光束的移动路径形成一个精密网格，网格上的每个点都会记录样品的衍射图案。由于单个网格点间距离小于光束直径，成像区域存在重叠，因此可提供足够多的信息，算法据此能以高分辨率重建样本图像。

　　　2017年，研究团队成功以15纳米的分辨率对计算机芯片进行了空间成像，创下当时的纪录。此后，他们一直致力于提升这一技术的精度。在最新研究中，通过采用更短的曝光时间和更先进的算法，他们以4纳米的分辨率打破了此前的纪录。

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【编辑:蔡德霖】