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近日，比利时微电子研究中心（imec）在荷兰Eindhoven与ASML合作建立的高数值孔径极紫外光（High-NAEUV）光刻实验室中，利用操优女骚逼HD径0.55NAEUV光刻机(TWINSCANEXE:5000)，发布了曝光后的图形化元件结构。

　　　取得这些突破性成果后，imec携手ASML与其伙伴紧密合作，开始紧锣密鼓地进行准备工作，为第一代HighNAEUV微影技术来筹备图形化生态系统与量测技术。在进行多次曝光之前，imec准备了专用的晶圆堆叠（包含先进光阻、涂布底层及光罩），并把像是光学临近校正（OPC）、整合图形化及蚀刻技术等highNAEUV基线制程整合到0.55NAEUV光刻机台上。

　　　imec表示，在单次曝光后，9nm和5nm（间距19nm）的随机逻辑结构、中心间距为30nm的随机通孔、间距为22nm的二维特征，以及间距为32nm的动态随机存取记忆体（DRAM）专用布局全部成功成形，采用的是由imec与其先进图形化研究计划伙伴所优化的材料和基线制程。通过这些研究成果，imec证实该光刻技术的生态系统已经准备就绪，能够实现高分辨率的HighNAEUV单次曝光。

　　　imec总裁兼首席执行官LucVandenhove表示：“结果证实了HighNAEUV光刻技术长期以来预测的分辨率能力，一次曝光即可实现20nm以下间距的金属层。因此，HighNAEUV将对继续实现逻辑和内存技术的尺寸缩放发挥重要作用，这是将路线图推向‘埃时代’的关键支柱之一。这些早期演示之所以能够实现，要归功于ASML-imec联合实验室的建立，这使我们的合作伙伴能够加速将HighNAEUV光刻技术引入制造业。”

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【编辑:杨勇】