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　　　imec表示，在单次曝光后，9nm和5nm（间距19nm）的随机逻辑结构、中心间距为30nm的随机通孔、间距为22nm的二维特征，以及间距为32nm的动态随机存取记忆体（DRAM）专用布局全部成功成形，采用的是由imec与其先进图形化研究计划伙伴所优化的材料和基线制程。通过这些研究成果，imec证实该光刻技术的生态系统已经准备就绪，能够实现高分辨率的HighNAEUV单次曝光。

　　　除了逻辑结构，imec也成功利用单次曝光，为动态随机存取内存（DRAM）制出把电荷储存节点连接垫（storagenodelandingpad）与周边位线相互整合的元件图形。这项成就彰显了HighNAEUV技术的潜能，有望通过单次曝光来取代多层光罩的曝光需求。

　　　由ASML与imec共同成立于荷兰Eindhoven的HighNAEUV光刻实验室在近期启用后，客户现在可以使用HighNAEUV光刻机来开发非公开的HighNAEUV应用案例，这些案例也能运用客户各自的设计规则和布局。

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【编辑:刘长胜】