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　　　美国国防预先研究计划局(DARPA)的“光辐射冷却和供暖集成器件”(ORCHID)计划的目的就是提高MEMS性能，克服后者的障碍。克服标准量子极限，或海森堡极限，对器件的量子状态提出精细的工程要求。ORCHID项目就是将微光学和机械部件组合到一个“光机”器件中。配以新的测量技术，此器件可超越量子极限运行。项目在最近取得了里程碑式进展，美国加州理工学院的ORCHID研究人员报道了一个新的方法在一个芯片上生成了“压缩光”。他们的工作在最近发表在自然杂志上，名称为《源自硅微机械谐振器的压缩光》，文中有详细报道。

　　　近期ORCHID项目经理Robert Lutwak评价这次在定位、导航和定时实际应用中的重要性，“由于20世纪90年代DARPA推动MEMS制造技术的早期发展，MEMS器件已在商用和国防导航和传感系统中取得了关键作用。最近ORCHID的研究成果为新一代具备优异性能的MEMS惯性传感器的发展铺平道路。”(薛力芳）

　　　DARPA的ORCHID项目经理Jamil Abo-Shaeer指出：“加州理工学院的研究人员使用变形的光学谐振腔，减小幅度波动，产生压缩光，改变了典型的噪声性能。”研究人员显著减小光的振幅噪声，而其它参数没有参与测量。总体而言，系统的整体噪声是不变的，只是将噪声从所测量的参数上转移，而不改变先前的研究。这个新计划采用芯片级、硅基技术，可部署应用于传感器中。

　　　压缩光的方法最近在项目中取得了突破，可使其从基础研究快速过渡到实际应用中。自从2010年以来，ORCHID还开发了集成光机械器件实现低相位噪声微波振荡器，可用于多个国防领域，包括安全通信、导航和监视。ORCHID技术还可用于光处理，如片上光延迟、开关、高效的光波长转换器、光存储和高速可调光滤波器。

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【编辑:刘永】